刘创华.半导体芯片制造企业的供电需求分析及解决措施[J].电工技术,2018(3):46-48
半导体芯片制造企业的供电需求分析及解决措施
  
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中文关键词:  电压质量  电压暂降  芯片制造  供电方案
英文关键词:
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作者单位
刘创华 国网天津市电力公司 
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中文摘要:
      针对半导体芯片制造企业极易受到电压暂降等电压质量问题的干扰,从半导体制造工艺和关键设备出发,分析半导体芯片制造企业的供电需求,介绍其典型供电方案,并提出改进意见,供相关运行管理人员参考借鉴。
英文摘要:
      
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