田翠侠.具备同步运动和差动运动的双轴控制补偿方法[J].电工技术,2020(12):3-6
具备同步运动和差动运动的双轴控制补偿方法
  
DOI：10.19768/j.cnki.dgjs.2020.12.002
中文关键词:  双轴  同步运动  差动运动  补偿方法
英文关键词:
基金项目:
作者单位
田翠侠 上海微电子装备 (集团)股份有限公司 
摘要点击次数: 1057
全文下载次数: 0
中文摘要:
      文章提出一种在掩模板物料传送系统中应用的双轴控制方法,介绍设备结构原理和运动控制方式,分析控制器的基本策略设计,最终通过在系统中应用,验证了该方法的有效性。
英文摘要:
      
查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器