谭兵,罗阳.多晶硅还原炉接地、碰壁检测的影响[J].电工技术,2021(2):110-111
多晶硅还原炉接地、碰壁检测的影响
  
DOI：10.19768/j.cnki.dgjs.2021.02.047
中文关键词:  多晶硅  接地  硅粉沉积  绝缘
英文关键词:
基金项目:
作者单位
谭兵 四川英杰电气股份有限公司 
罗阳 四川英杰电气股份有限公司 
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中文摘要:
      改良西门子法多晶硅还原生产是一个连续过程,接地已是导致还原生产过程中断的主要因素.针对各种因素的接地问题,提出一种新型计算控制方法,即借助还原炉自有电源作为检测驱动源,对还原炉的硅粉沉积、还原炉绝缘损坏接地、负载相间短路精准分辨,提高了每批次还原生产的成功率.
英文摘要:
      
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