| 贾斌,赵来军,李彦森,陈芸,孙岩洲.基于气压及间距变化的微间距放电特性分析*[J].电工技术,2022(19):53-57 |
| 基于气压及间距变化的微间距放电特性分析* |
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| DOI：10.19768/j.cnki.dgjs.2022.19.014 |
| 中文关键词: 微间距放电 气体放电 气压 敏感度 表面放电 |
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| 中文摘要: |
| 微间距放电特性是影响设备微型化发展的重要因素之一，为深入探究微间距放电在不同环境下的特性，搭建试验平台，进行了微间距不同气压气体放电及沿聚酰亚胺薄膜(PI)表面放电试验。在1~100 kPa气体放电试验中，发现电极间距大于10 μm时的击穿电压随气压的走势与间距小于10 μm时的走势存在较大差异，主要原因是电极间距小于10 μm时，击穿过程受到离子增强场致发射效应影响。间距大于10 μm时，击穿电压随气压变化的敏感度与电极间距成正相关；而间距小于10 μm时，由于碰撞电离程度较低，其敏感度显著降低，且随着气压的升高而下降。大气压下对比纯气隙与沿PI表面放电，电极间引入PI薄膜后，击穿电压有了一定的降低，相较于纯气隙放电，沿面击穿电压对电极间距的敏感度更低。 |
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