奚光金,王丛岭,吕耀阳,袁帅阳,许磊,范俊飞.低粒子高真空插板阀的检测方法研究[J].电工技术,2023(15):147-150
低粒子高真空插板阀的检测方法研究
  
DOI：10.19768/j.cnki.dgjs.2023.15.037
中文关键词:  低粒子  高真空插板阀  粒度检测
英文关键词:
基金项目:
作者单位
奚光金 电子科技大学 
王丛岭 电子科技大学 
吕耀阳 电子科技大学 
袁帅阳 电子科技大学 
许磊 广西成电智能制造产业技术有限责任公司 
范俊飞 柳州津晶电器有限公司 
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中文摘要:
      低粒子高真空插板阀因选用材料的特殊性和密封技术的先进性，在运行过程中产生的机械冲击力就会较小，从而大大地减少了颗粒污染。它是常用于集成电路的晶圆生产行业的一类真空阀门，而目前国内厂家还无法生产这类阀门，也没有进行相关的设计研发。为此研究了基于光散射法的低粒子高真空插板阀的粒度检测方法及相应的检测指标，搭建了相关的粒度检测平台，并进行了模拟测试。
英文摘要:
      
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