刘长林,陆艳君,安辉,田玉宝,邓文宇,齐丽君,安跃军.真空镀膜设备收放系统用多电机协同控制分析*[J].电工技术,2024(18):29-33
真空镀膜设备收放系统用多电机协同控制分析*
  
DOI：10.19768/j.cnki.dgjs.2024.18.008
中文关键词:  多电机协同控制  收放系统  自抗扰控制  偏差耦合控制  真空镀膜设备
英文关键词:
基金项目:
作者单位
刘长林 沈阳工业大学电气工程学院 
陆艳君 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 
安辉 沈阳工业大学电气工程学院 
田玉宝 沈阳工业大学电气工程学院 
邓文宇 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 
齐丽君 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 
安跃军 沈阳工业大学电气工程学院 
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中文摘要:
      为改善真空镀膜设备多电机协同控制系统的稳定性与协同性，将自抗扰控制应用于电机调速控制系统，并与传统PI控制进行对比分析，验证了其较强的抗干扰能力。基于自抗扰控制，针对外界扰动下多台电机间转速同步误差较大问题，提出一种改进型偏差耦合控制的速度补偿器，其与传统方式相比，多电机间同步误差减小39.22%，恢复时间缩短75%，真空镀膜设备张力波动降低57.78%。
英文摘要:
      
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